Układ nanomanipulatorów miBot

Układ dwóch nanomanipulatorów typu miBot firmy IMINa, kompatybilny ze skaningowym mikroskopem elektronowo-jonowym VERSA 3D, umożliwia pomiary oporu in-situ w trakcie procesu nanostrukturyzacji oraz manipulację pojedynczymi sub-mikronowymi obiektami. Każdy z nanomanipulatorów posiada 3 osie, po których może się poruszać z dokładnością do pojedynczych nanometrów, oraz możliwość obrotu. Promień zaokrąglenia sondy pomiarowej wynosi od 100 do 500 nm, umożliwiając przepuszczanie prądów o natężeniu 100 mA. Do pomiarów oporu wykorzystujemy zewnętrzną elektronikę pomiarową, np. urządzenie Keithley 2400.