Napylarka Leica EM ACE600
Nazwa handlowa
Leica EM ACE600
Opis techniczny
Wysokopróżniowa napylarka Leica EM ACE600 do napylania cienkich warstw z dwóch źródeł różnych metali. W skład układu wchodzą:
- wewnętrzna, zintegrowana z systemem membranowa, bezolejowa pompa próżniowa oraz pompa turbomolekularna TMP,
- 2 zintegrowane głowice do napylania metalem,
- automatyczny stolik z regulowaną wysokością, rotacją i kątem napylania,
- waga kwarcowa QSG do pomiaru grubości napylonej warstwy.
Warunki udostępniania infrastruktury
Aparatura udostępniania na zasadach wynikających z Regulaminu Korzystania z Infrastruktury Badawczej ACMiN. (https://acmin.agh.edu.pl/acmin/dokumenty/)
Rodzaj akredytacji / certyfikatu:
Nie dotyczy
Rodzaj dostępu
Zewnętrzna
Możliwości badawcze
Otrzymywanie cienkich warstw metalicznych
Data ostatniej aktualizacji
10 listopada 2023 12:44
Rok wprowadzenia do użytkowania
2018
Zdjęcia
Leica_EM_ACE600
Jednostka odpowiedzialna
Grupa / laboratorium / zespół
Zakład Efektów Kwantowych w Nanostrukturach