Aparatura
Próżniowy system do napylania magnetronowego
Osoba kontaktowa:
Kryshtal Oleksandr
Opis techniczny:
Prosta i w pełni funkcjonalna aparatura do powtarzalnego nakładania cienkich warstw przy pomocy rozpylania magnetronowego. Sprzęt jest zoptymalizowany do osadzania z dwóch źródeł w tym samym czasie (z ang. co-deposition) próbek …
Napylarka wysokopróżniowa Q150T E Quorum Technologies
Osoba kontaktowa:
Berent Katarzyna
Opis techniczny:
Urządzenie umożliwia nanoszenie cienkich, amorficznych warstw węgla (C) o wysokiej czystości i dużej gęstości na powierzchni próbek nieprzewodzących, w celu poprawy przewodności elektrycznej próbek analizowanych przy użyciu skanin…
Oczyszczarka plazmowa Harrick PDC-32G Plasma Cleaner
Osoba kontaktowa:
Szkudlarek Aleksandra
Opis techniczny:
Plasma Cleaner służy do oczyszczania powierzchni próbek z zanieczyszczeń pochodzenia organicznego lub do aktywacji powierzchni. Urządzenie pozwala na zastosowanie tlenu lub argonu oraz ich mieszaniny do wytwarzania plazmy, zapewniając kontrol…
Napylarka Leica EM ACE600
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Wysokopróżniowa napylarka Leica EM ACE600 do napylania cienkich warstw z dwóch źródeł różnych metali. W skład układu wchodzą:
wewnętrzna, zintegrowana z systemem membranowa, bezolejowa pompa próżniowa oraz po…
Próżniowy system do nanoszenia cienkich warstw i wytwarzania nanocząstek
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Stanowisko laboratoryjne składa się z dwóch próżniowych komór procesowych firmy Mantis, spełniających standardy wysokiej próżni (HV). Pierwsza komora procesowa służy do nanoszenia jednoczesnego lub sekwencyjnego wieloskła…
System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 1000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawien…
Stanowisko do wytwarzania i badań in situ nanostruktur sensorowych
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Zakrzewska Katarzyna
Opis techniczny:
Technologiczno-pomiarowe stanowisko składające się z 5 niezależnych komór spełniających standardy ultra-wysokiej próżni (UHV) firmy PREVAC