System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw
W pomieszczeniu czystym klasy 1000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawienie cienkich warstw z nanometrową precyzją oraz w magnetronowe źródło rozpylające. W pomieszczeniu tym znajduje się również profilometr kontaktowy (Bruker DektakXT) służący do pomiaru grubości i szorstkości wytworzonych nanostruktur i zdeponowanych warstw.
Aparatura udostępniania na zasadach wynikających z Regulaminu Korzystania z Infrastruktury Badawczej ACMiN. (https://acmin.agh.edu.pl/acmin/dokumenty/)
Aparatura pozwala na nanoszenie cienkich warstw materiałów takich jak: tytan, złoto, glin czy tlenek glinu, przy późniejszym trawieniu działem jonowym. W połączeniu z litografią, pozwala to na otrzymanie kolejnych warstw atomowych. Warstwy nanoszone są przy wysokiej próżni (HV), pod ciśnieniem około 1 x 10-7 mbar. Maksymalny rozmiar próbki do trawienia i nanoszenia warstw to wafer o średnicy 6, lub próbka 4 cale na 4 cale.
![System nanoszenia cienkich warstw i trawienia jonowego](/media/cache/88/4b/884b8d9d324d9be3f224d4f99ba18dd8.webp)
![System nanoszenia cienkich warstw i trawienia jonowego](/media/cache/37/86/3786c4c386d6fbb39548853822b62863.webp)
Jednostka odpowiedzialna
Grupa / laboratorium / zespół
Zakład Efektów Kwantowych W Nanostrukturach