Aparatura

System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw

Jednostka: Akademickie Centrum Materiałów i Nanotechnologii

Osoba kontaktowa: Jurzecka-Szymacha Maria

Opis techniczny: W pomieszczeniu czystym klasy 1000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawien…

Słowa kluczowe: cienkie warstwy profilometr sputtering trawienie jonowe