Aparatura
System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw
Osoba kontaktowa:
Chrobak Maciej
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 10000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawie…
