Aparatura
Próżniowy system do nanoszenia cienkich warstw i wytwarzania nanocząstek
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Stanowisko laboratoryjne składa się z dwóch próżniowych komór procesowych firmy Mantis, spełniających standardy wysokiej próżni (HV). Pierwsza komora procesowa służy do nanoszenia jednoczesnego lub sekwencyjnego wieloskła…
