Aparatura
Próżniowy system do nanoszenia cienkich warstw i wytwarzania nanocząstek
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Stanowisko laboratoryjne składa się z dwóch próżniowych komór procesowych firmy Mantis, spełniających standardy wysokiej próżni (HV). Pierwsza komora procesowa służy do nanoszenia jednoczesnego lub sekwencyjnego wieloskła…
Próżniowy system do napylania magnetronowego
Osoba kontaktowa:
Kryshtal Oleksandr
Opis techniczny:
Prosta i w pełni funkcjonalna aparatura do powtarzalnego nakładania cienkich warstw przy pomocy rozpylania magnetronowego. Sprzęt jest zoptymalizowany do osadzania z dwóch źródeł w tym samym czasie (z ang. co-deposition) próbek …
Stanowisko do wytwarzania i badań in situ nanostruktur sensorowych
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Zakrzewska Katarzyna
Opis techniczny:
Technologiczno-pomiarowe stanowisko składające się z 5 niezależnych komór spełniających standardy ultra-wysokiej próżni (UHV) firmy PREVAC
