Aparatura
Stanowisko do wytwarzania i badań in situ nanostruktur sensorowych
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Zakrzewska Katarzyna
Opis techniczny:
Technologiczno-pomiarowe stanowisko składające się z 5 niezależnych komór spełniających standardy ultra-wysokiej próżni (UHV) firmy PREVAC
