System do trawienia i nanoszenia warstw z wyposażeniem

Powrót do listy
Pobierz Dane kontaktowe
Nazwa handlowa
System do trawienia i nanoszenia warstw z wyposażeniem
Opis techniczny

Komora próżniowa z magnetronami DC i RF oraz źródłem jonów KDC40

Warunki udostępniania infrastruktury

Ustalane indywidualnie

Rodzaj akredytacji / certyfikatu:
Nie dotyczy
Rodzaj dostępu
Zewnętrzna
Możliwości badawcze

Nanoszenie cienkich warstw metalicznych i dielektrycznych. Trawienie jonowe warstw metalicznych i dielektrycznych

Data ostatniej aktualizacji
21 sierpnia 2023 11:35
Rok wprowadzenia do użytkowania
2021
Możliwości pomiarowe

brak

Zdjęcia
Wytrawiarka
Wytrawiarka
Wytrawiarka
Wytrawiarka
Wytrawiarka
Wytrawiarka
Wytrawiarka

Jednostka odpowiedzialna

Instytut Elektroniki

Grupa / laboratorium / zespół

Laboratorium Z-11/Piotr Wiśniowski pwis@agh.edu.pl; Bartłomiej Szafraniak szafrani@agh.edu.pl, Łukasz Fuśnik lfusnik@agh.edu.pl

Osoba kontaktowa

Wiśniowski Piotr

Obszary badawcze IDUB

(POB 4) Rozwiązania techniczne: od badań podstawowych, przez modelowanie i projektowanie, aż do prototypów. Zastosowania narzędzi matematyki, informatyki i elektroniki w problemach skali makro, mikro i nano

Słowa kluczowe