Aparatura
System Pulsacyjnej Ablacji Laserowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
System umożliwia wytwarzanie cienkich warstw o określonym składzie stechiometrycznym lub przesyconym o grubości od kilku nanometrów do paru mikrometrów, na różnorodnych podłożach (metalicznych, ceramicznych, polimerowych). Podło…
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
System do trawienia i nanoszenia warstw z wyposażeniem
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Wiśniowski Piotr
Opis techniczny:
Komora próżniowa z magnetronami DC i RF oraz źródłem jonów KDC40
