Aparatura
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Chrobak Maciej
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
System do trawienia i nanoszenia warstw z wyposażeniem
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Wiśniowski Piotr
Opis techniczny:
Komora próżniowa z magnetronami DC i RF oraz źródłem jonów KDC40.
1.Dwa źródła magnetronowe
Kołnierz montażowy: DN 100CF
Max. moc (DC ): 400 W DC
Max. moc (RF ): 400 W RF
Max. napięcie (DC): 1200 V
…
