Aparatura
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Jurzecka-Szymacha Maria
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
System do trawienia i nanoszenia warstw z wyposażeniem
Jednostka:
Instytut Elektroniki
Osoba kontaktowa:
Wiśniowski Piotr
Opis techniczny:
Komora próżniowa z magnetronami DC i RF oraz źródłem jonów KDC40
