Aparatura
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
