System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej

W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowego, elektroniki sterującej oraz układu pomp do utrzymania odpowiedniej próżni w urządzeniu. Układ umożliwia naświetlanie elementów o  rozmiarach od 10 nm do kilkaset µm na powierzchni próbki o rozmiarach do 4 cali.

Dodatkowo w  pomieszczeniu znajduje się stół procesowy (firmy Arias) do nakładania, wygrzewania i usuwania rezystów. W stole mamy umiejscowioną płytę grzewczą, myjkę ultradźwiękowa, wirówkę, pistolet z azotem do zdmuchiwania pyłków z próbek i pistolet z wodą destylowaną do przemywania próbek. Do stołu są doprowadzone niezbędne instalacje takie jak wodna, gazowa i odciąg umiejscowiony w blacie stołu, który na bieżąco odprowadza opary substancji chemicznych na zewnątrz.

Litografia elektronowa jest wykonywana przy użyciu rezystów pozytywowych serii AR-P 617, natomiast litografia negatywowa jest oparta o rezysty serii AR-N 7520.