FIB-SEM, skaningowy mikroskop elektronowy SEM z działem jonowym FIB

Nazwa handlowa
Crossbeam 350 (ZEISS)
Opis techniczny

FIB-SEM Crossbeam 350 z kolumną GEMINI i źródłem elektronów FEG oferuje obrazowanie w wysokiej rozdzielczości przy użyciu zaawansowanych trybów detekcji, w tym InLens (SE), InLens (EsB), Angle Selective Back-Scattered Detektor (AsB). Ustawienia obrazowania optyki Gemini , takie jak napięcie przyspieszające lub prąd wiązki, można płynnie regulować (z wybranym określonym skokiem).  Równoległa detekcja elektronów wtórnych (SE) w osi soczewki obiektywowej oraz selektywne energetycznie rozproszenie wsteczne (EsB) pozwala z łatwością zidentyfikować najmniejsze różnice w składzie chemicznym materiałów. Wyposażony w zaawansowany system zogniskowanej wiązki jonów FIB, który umożliwia szybkie i precyzyjne usuwanie warstwy materiału  oraz wycinanie próbek (lameli) dla  FIB-SEM Crossbeam 350 z kolumną GEMINI i źródłem elektronów FEG oferuje obrazowanie w wysokiej rozdzielczości przy użyciu zaawansowanych trybów detekcji, w tym InLens (SE), InLens (EsB), Angle Selective Back-Scattered Detektor (AsB). Ustawienia obrazowania optyki Gemini II, takie jak napięcie przyspieszające lub prąd wiązki, można płynnie regulować.  Równoległa detekcja elektronów wtórnych (SE) w osi soczewki obiektywowej oraz selektywne energetycznie rozproszenie wsteczne (EsB) pozwala z łatwością zidentyfikować najmniejsze różnice w składzie chemicznym materiałów. Wyposażony w zaawansowany system zogniskowanej wiązki jonów FIB, który umożliwia szybkie i precyzyjne usuwanie warstwy materiału  oraz wycinanie próbek (lameli) dla  TEM. Możliwości Crossbeam można rozszerzyć za pomocą oprogramowania Atlas 5 (ZEISS), wiodącego na rynku pakietu do szybkiej, precyzyjnej tomografii. Crossbeam  350 (ZEISS) ma optykę elektronową Gemini i optykę jonów FIB dostosowaną do szybkości i precyzji.

Warunki udostępniania infrastruktury

Na warunkach uzgodnionych z Kierownikiem laboratorium - dr hab. inż. Adam Kruk, prof. AGH

Rodzaj akredytacji / certyfikatu:
Nie dotyczy
Rodzaj dostępu
Zewnętrzna
Możliwości badawcze

InLens (SE), InLens (EsB), Angle Selective back-scattered detector (AsB), Tomografia FIB-SEM

Data ostatniej aktualizacji
22 lutego 2023 08:13
Rok wprowadzenia do użytkowania
2023
Możliwości pomiarowe

Obrazowanie mikrostruktury w elektronach wtówrnych SE i wstecznie rozproszonych BSE. Tomografia FIB-SEM. Wykonanie lameli do badań TEM.

Zdjęcia
FIB-SEM
FIB-SEM