Skaningowy mikroskop elektronowy z działem jonowym (SEM/FIB)

Mikroskop Quanta 3D 200i typu „dual beam” (SEM/FIB) jest urządzeniem dedykowanym do preparatyki cienkich folii do badań TEM/STEM. Instrument wyposażony jest w dwa działa: elektronowe (włókno wolframowe) oraz jonowe (Ga+),  system precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS), służący do depozycji Pt/W oraz mikromanipulator (Omniprobe) do przenoszenia cienkich preparatów. Mikroskop umożliwia preparatykę cienkich folii z większości istniejących materiałów inżynierskich (metale, stopy, ceramika, polimery, kompozyty, powłoki), z wybranego z dokładnością do kilku mikrometrów miejsca w próbce. Mikroskop wyposażony jest też w spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (Energy Dispersive X-ray Spectrometer – EDS) oraz detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (Electron Backscattered Diffraction - EBSD).

Mikroskop charakteryzują następujące parametry pracy:

- źródło elektronowe - włókno W

- zakres napięć przyspieszających elektrony – 0,5-30 kV

- zakres napięć przyspieszających jony – 2-30 kV

- zakres prądów wiązki jonowej - 1.5 pA – 65 nA

- detektory: LFD, GSED, SS STEM, Low kv SS BSED

- micromanipulator: Omniprobe Model 100.7

- GIS W