Mikroskop elektronowy skaningowy FEI Quanta 200 FEG

Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z gorącą emisją polową (FEG - wysokostabilny emiter elektronów Schottky'ego), zapewniający: możliwość obserwacji w zmiennej próżni, powiększenia 70 ÷ 300 000x, zdolność rozdzielczą ok. 2 nm.

Parametry techniczne:

• Napięcie przyspieszające 5 – 30 kV
• System zmiennej próżni:

- wysoka próżnia (HV)  ok. 10^-4 Pa - preparaty przewodzące

- niska próżnia (LV)  50÷200 Pa - preparaty przewodzące i nie przewodzące

- tryb ESEM 200÷2000 Pa - preparaty przewodzące i nie przewodzące

• Rozdzielczość:

<  2,0nm przy 30kV (HV)

<  3,5nm przy 30kV (LV)

<  2,0nm przy 30kV (ESEM)

Detektory:

• SED Everharta-Thornleya
• SED (do LV)
• SED (do ESEM)
• BSED (Si solid-state)
• BSED (do ESEM)
• Centaurus – fotopowielacz z końcówkami do detekcji BSE i CL
• EBSD (do rejestracji dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych)
• Krzemowy, chłodzony ciekłym azotem, detektor promieniowania rentgenowskiego ze spektrometrem EDS (EDAX)