Dwuwiązkowy ultra-wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z działem jonów ksenonu (PFIB/SEM) wraz z mikroskopem sił atomowych (AFM)

Dwuwiązkowy, ultra-wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy Helios 5 wyposażony jest w wysokostabilne, monochromatyczne działo elektronowe z emisją polową Schottky'ego (FEG - Field Emission Gun) oraz działo jonowe Xe (PFIB - Plasma Focused Ion Beam). Umożliwia pracę z napięciem przyspieszającym w zakresie od 350 V do 30 kV (max. prąd wiązki elektronowej 100 nA) i energii lądowania 20 eV do 30 keV. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 1 kV na standardowej próbce cząstek złota wynosi 0.7 nm. Maksymalne pole widzenia wynosi 2.3 mm dla WD 4 mm.

Mikroskop wyposażony jest w:

• detektory do obrazowania:  wewnątrzsoczewkowy Elstar (TLD-SE, TLD-BSE); wewnątrzkolumnowy Elstar (ICD - SE/BSE); elektronów wtórnych (ETD); elektronów i jonów wtórnych (ICE - SI, SE); wysuwany niskonapięciowy, wysokokontrastowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych (ABS/DBS),
• spektrometr dyspersji energii promieniowania rtg. (EDS - Energy Dispersive X-ray Spectrometer) Ultim MAX 60 oraz kamerę CMOS Symmetry S3 firmy Oxford Instruments umożliwiającą pomiary dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD - Electron Backscatter Diffraction),
• detektor umożliwiający obrazowanie w trybie skaningowo-transmisyjnym (STEM3+),
• działo jonowe Xe (PFIB) i dwa systemy dozowania gazów (GIS - Gas Injection System). Możliwość depozycji platyny (Pt) i/lub wolframu (W),
• nanoindenter FT-NMT04 firmy FemtoTools,
• oprogramowanie Auto Slice&View,
• stolik AFM firmy NenoVision.

Maksymalne wymiary próbek – średnica: 110 mm, wysokość: 65 mm; waga: 500 g.