Aparatura
System Pulsacyjnej Ablacji Laserowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
System umożliwia wytwarzanie cienkich warstw o określonym składzie stechiometrycznym lub przesyconym o grubości od kilku nanometrów do paru mikrometrów, na różnorodnych podłożach (metalicznych, ceramicznych, polimerowych). Podło…
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
Profilometr do pomiarów warstw o wymiarach nanometrycznych
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Profilometr igłowy stykowy służący badaniu chropowatości oraz falistości powierzchni z rozdzielczością 1 A oraz powtarzalnością na poziomie 4 A≤ (angstrem).
