Aparatura
Napylarka Leica EM ACE600
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Wysokopróżniowa napylarka Leica EM ACE600 do napylania cienkich warstw z dwóch źródeł różnych metali. W skład układu wchodzą:
wewnętrzna, zintegrowana z systemem membranowa, bezolejowa pompa próżniowa oraz po…
Próżniowy system do nanoszenia cienkich warstw i wytwarzania nanocząstek
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Stanowisko laboratoryjne składa się z dwóch próżniowych komór procesowych firmy Mantis, spełniających standardy wysokiej próżni (HV). Pierwsza komora procesowa służy do nanoszenia jednoczesnego lub sekwencyjnego wieloskła…
System Pulsacyjnej Ablacji Laserowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
System umożliwia wytwarzanie cienkich warstw o określonym składzie stechiometrycznym lub przesyconym o grubości od kilku nanometrów do paru mikrometrów, na różnorodnych podłożach (metalicznych, ceramicznych, polimerowych). Podło…
System do wysokorozdzielczej litografii elektronowej
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…
Profilometr do pomiarów warstw o wymiarach nanometrycznych
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
Profilometr igłowy stykowy służący badaniu chropowatości oraz falistości powierzchni z rozdzielczością 1 A oraz powtarzalnością na poziomie 4 A≤ (angstrem).
System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw
Osoba kontaktowa:
Jabłoński Piotr
Opis techniczny:
W pomieszczeniu czystym klasy 1000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawien…
