Aparatura

Opis techniczny: W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru laserowe…

Opis techniczny: Mikroskop świetlny (LM) umożliwia obrazowanie w świetle odbitym w jasnym polu (BF), ciemnym polu (DF), świetle spolaryzowanym (POL) oraz kontraście interferencyjnym tzw. kontraście Nomarskiego (DIC). Posiada w pełni zmotoryzowany stolik (X,Y,Z), poz…

Opis techniczny: Profilometr igłowy stykowy służący badaniu chropowatości oraz falistości powierzchni z rozdzielczością 1 A oraz powtarzalnością na poziomie 4 A≤ (angstrem).

Opis techniczny: W  pomieszczeniu czystym klasy 1000 znajduje się urządzenie do trawienia jonowego i nanoszenia cienkich warstw Microsystems IonSys 500. System jest wyposażony w działo jonowe wraz z detektorem SIMS, który umożliwia trawien…